机械微压力传感器是最早开始研制的微机械产品，也是微机械技术中较成熟、较早开始产业化的产品。近来微机械压力传感器的技术不断提高，功能也越来越全面，应用的范围也是越来越广泛。现阶段微机械压力传感器的发展方向主要分为4个方向，下面为大家具体介绍一下是那4个方向吧。

    其一是将敏感元件与信号处理、校准、补偿电路及微控制器等进行单片集成，研制智能化的微视械压力传感器。

    其二是进一步提高灵敏度，实现低量程的微机械压力传感器。这种微压传感器用于脉动风压、流量和密封件泄漏量标识等领域。

    其三是提高工作温度，研制高低温微机械压力传感器。压阻式微机械压力传感器由于受Pn结耐温限制，只能用于120度以下的工作温度，然而在许多领域迫切需要能够在高低温下正常工作的微机械压力传感器，例如磁量锅炉、管道、高温容器内的压力，井下压力和各种发动机腔体内的压力。目前对高温微机械压力传感器的研究主要包括合金薄膜溅射微机械压力传感器，高温光纤微机械压力传感器，高温电容式微机械压力传感器等。

    其四是开发机械微压差变送器。压力传感器称重传感器除了具有普通微压力传感器的优点外，还具有准数字信号输出，抗干扰能力强，分辨率和测量精度高的优点。机械压力传感器的激励检测方式有电磁激放电磁拾振、静电激励电容拾振、逆压电激励压电拾振、电热激励压敏电阻拾振和光热激励／光信号拾振。其中，电热激励／压敏电阻拾振的谐振式微机械压力传感器价格低廉，与工业IC技术兼容，可将敏感元件与信号调理电路集成在一块芯片上，具有诱人的应用前景。这种传感器的温度交叉灵敏度较大，为此设计了一种具有温度补偿功能的复合谐振式微机械压力传感器。