热式流量计根据热源及测温方式的不同可分为接触式和非接触式两种。

    1．接触式热式质量流量计

    这种质量流量计的加热元件和测温元件都置于被测流体的管道内，与流体直接接触，常被称为托马斯流量计，适于测量气体的较大质量流量。由于加热及测量元件与被测流体直接接触，因此元件易受流体腐蚀和磨损，影响流量计的测量灵敏度和使用寿命。测量高流速、有腐蚀性的流体时不宜选用，这是接触式的缺点。

    l、3—热电偶；2一加热器；4一功率表

    2．非接触式热式质量流量计

    这种流量计的加热及测温元件都置于流体管道外，与被测流体不直接接触，克服了接触式的缺点。热式微流量型(是非接触式质量流量计的典型结构)。仪表的测量导管，为薄壁小口径镍管，镍管外部两侧缠绕铂电阻丝3、5作为测温线圈，并作为测量电桥的两臂R1、R2。两测温线圈的中间缠绕着锰铜丝加热线圈4，作为仪表的加热器。当流体静止时，由于测温线圈对称地安装在加热器两侧且阻值相等(各100左右)，因此测量电桥处于平衡状态。但当流体在镍管中流经测温电阻时，就破坏了加热器的温度场，两测温线圈处于不同的温度场内，因而引起电阻值发生变化。两测温线圈阻值不等，破坏了电桥的平衡。根据电桥平衡原理，由检流计8测得电阻值的变化,即可求得质量流量M。

    1—测量导管;2—等温外壳;3—测温线圈;4—加热线圈7—调零电阻;8—检流计

    热式微流量计适用于测量液体和气体的微小质量流量。可测0–100cm3／h的微小液体流量和l0L／h左右的微小气体流量。

    为了使结构简化，有些产品取消了加热器，只用两只测量电阻，既作加热元件又作为测温元件。这种设计，由于热惯性的原因，仪表反映速度比较小，灵敏度较低;被测流体温度变化影响仪表指示的准确度。

    为了提高非接触热式质量流量计的流量测量范围，设计了一种边界层质量流量计，它利用测量流体靠近管壁的边界层的热传导来反映流量的大小．用这种方式测量流量，一般是利用控制管外壁的加热器给出的热量来保持边界层内外温差恒定，然后根据热源测量反映出质量流量。

    热式质量流量计目前发展较快的有：热线质量流量计、边界层质量流量计、分流式热毛细管质量流量计以及用IC基板技术的热式质量流量计等。